Pompes à réplétion chimique de haute précision CFD

Ces pompes CFD sont utilisées dans le processus de nettoyage humide dans la fabrication de semi-conducteurs. Les produits chimiques à haute pression de vapeur, tels que l'ammoniac et le peroxyde d'hydrogène, peuvent également être pompés.

L'utilisation de plastique fluoré permet d'obtenir une grande pureté et une très bonne résistance chimique. Le réglage de la longueur de course ainsi que du nombre de courses permet un réglage précis du débit. La formation de particules est évitée grâce aux raccords de tuyaux en PFA.

Conception sans contamination.

Toutes les pièces en contact avec le fluide sont fabriquées en plastique fluoré, avec une excellente résistance à la chaleur et aux produits chimiques agressifs. Les liquides corrosifs forts sont pompés en toute sécurité avec une émission de particules réduite.

Système de capteur d'entraînement

Le système d'entraînement et de détection ouvre/ferme l'aimant au moyen d'un capteur de fin de course. Un fonctionnement fiable ainsi qu'un comportement stable, même avec un faible nombre de courses, sont assurés.

L'adoption de soufflets épais permet des pressions allant jusqu'à 4,5 bars. De plus, les soufflets durent 3 ou 4 fois plus longtemps qu'une membrane. Les pompes de la série FW sont utilisées dans les processus de nettoyage, de CPM et de recirculation chimique.

Les raccords pour les côtés aspiration et refoulement sont fabriqués en PFA. La conception intégrée permet d'éviter l'accumulation de particules. Si un contrôleur spécial est connecté, la surveillance et le contrôle du débit sont très simples.

Les poussées à haute vitesse

Le nombre de courses varie selon le type. En conséquence de la réduction de la taille, du poids et du coût, le nombre de courses a pu être augmenté à 240 spm ainsi que la réduction des pulsations.

Conception sans contamination.

Toutes les pièces en contact avec le fluide sont fabriquées en plastique fluoré. La pompe a été conçue de manière à ce qu'il n'y ait aucune partie métallique non protégée. L'extérieur est également recouvert de plastique fluoré. L'utilisation d'un joint de piston (brevet en cours) a pour effet de réduire considérablement les émissions de particules.

Grande plage de température/transport à haute pression 

Des fluides avec une plage de température de 5 à 180°C à une pression allant jusqu'à 5 bars peuvent être pompés. La pompe peut être utilisée pour des processus de nettoyage, de CMP ou de recirculation chimique.

Entretien facile

Le capteur de fin de course peut être remplacé sans démonter la pompe et il n'est pas non plus nécessaire de resserrer régulièrement les vis de maintien, ce qui réduit les temps d'arrêt.

Système de capteurs d'entraînement

Le système d'entraînement et de détection ouvre/ferme l'aimant au moyen d'un capteur de fin de course. Par conséquent, la sortie peut être facilement contrôlée ou réglée si différents contrôleurs sont connectés.